LOTE EQUIPAMENTO QUANTIDADE
105 DSPA10 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA11 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA12 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA13 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA14 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA20 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA21 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 DSPA22 - Removedor de polímeros por plasma - Fabr: Axcelis Mod: Gemini GES 1
105 FAIA60 - Equipamento para elevação e movimentação de plaquetas (wafers), de dispositivos semicondutores e circuitos eletrônicos integrados provendo contatos elétricos  - Fabr: KARL SUSS Mod: PA200 1
105 FASP10 - Equipamento de deposição de metais utilizado nas plaquetas (wafers) de dispositivos semicondutores para a fabricação de circuitos integrados eletrônicos - Fabr: OXFORD Mod: PLASMALAB 80 1
105 FASP11 - Equipamento de deposição de metais utilizado nas plaquetas (wafers) de dispositivos semicondutores para a fabricação de circuitos integrados eletrônicos - Fabr: NEXTRAL Mod: NE90 1
105 FASP40 - Equipamento de deposição de metais utilizado nas plaquetas (wafers) de dispositivos semicondutores para a fabricação de circuitos integrados eletrônicos - Fabr: MSCOPE Mod: SC500 1
105 FASP60 - Equipamento para polimento de wafers utilizado na fabricação de dispositivos semicondutores - Fabr: PRESI Mod: MINITECH 233 1
105 FASP61 - Equipamento para polimento de wafers utilizado na fabricação de dispositivos semicondutores - Fabr: BUEHLER Mod: ECOMET 3000 1
105 HYPL60 - Estabilizador de filmes poliméricos para exposição à radiação ultravioleta - Fabr: FUSION Mod: FUSION GEMINI 1
105 TSPR10 - Equipamento para realização e controle de contatos elétricos em plaquetas (wafers) usados na fabricação de circuitos integrados eletrônicos - Fabr: TEL Mod: P8XL 1
105 EFPE10 - LAM Kiyo system - Fabr: LAM Mod: 2300 (no grupo dos geminis) 1
105 TSPR30 - Equipamento para realização e controle de contatos elétricos em plaquetas (wafers) usados na fabricação de circuitos integrados eletrônicos - Fabr: TEL Mod: P8XL 1
105 WCBS20 - Equipamento de limpeza de lâminas (wafers) de silício contendo duas câmaras com capacidade de limpeza a face posterior da lâmina na fabricação de circuitos integrados eletrônicos - Fabr: SEZ Mod: SP223 1
105 AVP kit de atualização: AVP computador de gerenciamento - Mod: SPTS AMS Server  1
No estado em que se encontram.